準(zhǔn)確測(cè)量和評(píng)價(jià)精密加工件的三維形貌，對(duì)提高加工表面的質(zhì)量和產(chǎn)品性能有重要的意義。在超精密加工顯微測(cè)量場(chǎng)景中，中圖儀器SuperView W1三維白光形貌干涉儀發(fā)揮的作用可以用“見(jiàn)一葉而知深秋，窺一斑而見(jiàn)全豹"來(lái)形容。大多數(shù)的場(chǎng)景只需要檢測(cè)一個(gè)數(shù)十、數(shù)百微米的區(qū)域，就能達(dá)到效果，但是在少數(shù)超精密器件的三維形貌場(chǎng)景中，借助中圖儀器的白光干涉儀自動(dòng)拼接功能，可以實(shí)現(xiàn)高精度、大區(qū)域的測(cè)量。

示例應(yīng)用

現(xiàn)有的接觸式測(cè)量方法具有測(cè)量速度慢、易劃傷測(cè)量表面的缺點(diǎn)，而單一的光學(xué)非接觸測(cè)量方法難以完成對(duì)大面形或曲率較大的高反射曲面零件三維形貌的高精度測(cè)量。中圖儀器SuperView W1白光干涉儀實(shí)現(xiàn)了超精密加工高反射曲面三維形貌的高精度非接觸測(cè)量。當(dāng)傳統(tǒng)測(cè)量?jī)x器必須測(cè)量超出適配鏡頭下的單視場(chǎng)區(qū)域時(shí)，會(huì)采用自動(dòng)拼接，而中圖儀器的白光干涉儀，可根據(jù)不同表面特點(diǎn)進(jìn)行重建算法的切換，并且具有以下優(yōu)勢(shì)：

1、行業(yè)領(lǐng)域和應(yīng)用對(duì)象廣

對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。

2、軟件功能豐富

（1）多種數(shù)據(jù)處理方式；

（2）多種分析工具；

（3）可視化工作流模式；

（4）多樣化的視圖觀察角度；

（5）多種分析方案，可進(jìn)行一鍵分析；

（6）便捷的實(shí)時(shí)提取表面二維剖面，同步計(jì)算更新參數(shù)指標(biāo)的同步分析功能；

（7）多種報(bào)表形式。

中圖儀器研發(fā)生產(chǎn)的SuperView W1三維白光形貌干涉儀，分辨率0.1μm，重復(fù)性0.1%，應(yīng)用領(lǐng)域廣泛，操作簡(jiǎn)便，可自動(dòng)聚焦測(cè)量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)。適用于各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、臺(tái)階高度、粗糙度、孔隙間隙、波紋度、表面缺陷、腐蝕情況、面形輪廓、彎曲變形情況、磨損情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。