中圖儀器SuperViewW1白光干涉光學(xué)3D表面形貌輪廓儀利用光學(xué)干涉原理研制開發(fā)，能以3D非接觸方式，測(cè)量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。測(cè)量中提供自動(dòng)對(duì)焦、自動(dòng)找條紋、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化輔助功能；提供自動(dòng)拼接測(cè)量、定位自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量功能；可測(cè)各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

產(chǎn)品功能

(1)設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺(tái)階高、角度等輪廓尺寸測(cè)量功能；

(2)測(cè)量中提供自動(dòng)對(duì)焦、自動(dòng)找條紋、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化輔助功能；

(3)測(cè)量中提供自動(dòng)拼接測(cè)量、定位自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量功能；

(4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；

(5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能；

(6)分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

應(yīng)用領(lǐng)域

對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。

應(yīng)用范例：

產(chǎn)品特點(diǎn)

參數(shù)測(cè)量：粗糙度、微觀輪廓尺寸、角度、面積、體積，一網(wǎng)打盡；

環(huán)境噪聲檢測(cè)：實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，納米波動(dòng)，也無可藏匿；

雙重防撞保護(hù)：軟件ZSTOP和Z向硬件傳感器，讓“以卵擊石"也能安然無恙；

自動(dòng)拼接：3軸光柵閉環(huán)反饋，讓3D拼接“天衣無縫"；

雙重振動(dòng)隔離：氣浮隔振，吸音隔振，任你“地動(dòng)山搖，我自巋然不動(dòng)"。

SuperViewW1白光干涉光學(xué)3D表面形貌輪廓儀采用擴(kuò)展型的相移算法EPSI，集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優(yōu)點(diǎn)，單一模式即可適用于從超光滑到粗糙、平面到弧面等各種表面類型，讓3D測(cè)量變得簡(jiǎn)單。

部分技術(shù)指標(biāo)

懇請(qǐng)注意：因市場(chǎng)發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要，本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會(huì)根據(jù)實(shí)際情況隨時(shí)更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請(qǐng)諒解。

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